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    實現超精密加工的基本條件

    文章作者:ownpowerkefu 發表時間: 瀏覽次數:

    [導讀:]實現超精密加工的基本條件
    實現超精密加工的基本條件

    實現超精密加工基本條件:

    為了能實現超精密加工并獲得預期的加工效果,必須具備下述基本條件:

    被加工工件的材質要密實;各向的同一性要好(最好為單晶);表層硬度和彈性模量要恒定一致;可加工性要好;材料的化學成份與機械物理性能對標準值的偏差不應超過0.1%。

    選用的超精密加工工藝方法要與被加工材料相匹配。例如,有色金屬材料(如銅、鋁合金)宜用單點金剛石刀具進行車削或銑削加工;玄色金屬材料(如鋼等)則宜選磨削與研、拋等工藝,否則得不到預期的加工效果等。

    加工環境要嚴格恒溫、隔振和凈化。恒溫室(第一分隔區)中的溫度波動不得大于±0.1°C;加工區(第二分隔區)中則不應超過±0.01°C;環境的相對濕度要保持在40%±10%以內;大氣壓力(如用激光丈量儀時)應保持1MPa±0.1%;機床地基的隔振系統固有頻率<2Hz;加工區的凈化度應為每立方英尺中大于0.1μm的微粒含量應未幾于10顆。

    具有能實現納米級(1nm ~10nm)增量進給的機床和分辨力優于0.1nm的丈量設備,如激光干涉儀,掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡等。

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